VL-60-A

1. 输出可控，等离子作用温和	500W等离子功率实现稳定均匀处理，非常适用于精密元器件，完成高精度表面改性。
2. 精准气体配比能力	标配2台质量流量控制器（氩气、氧气），可选扩展至3路，精准控制气体流量，便于灵活开发各类工艺方案。
3. 稳定西门子PLC控制系统	搭载西门子PLC，工艺重复性优异，支持配方存储，操作简单，兼顾科研研发与批量生产场景使用。
4. 结构紧凑，占地面积小	60升腔体容量充足，可完成中小批量工件处理，设备体积小巧，便于布置在实验室或者工业产线内。

概述

VL-60-A 60升真空等离子处理系统体积小巧、功能全面，适用于精密表面清洗、活化与改性工艺。设备搭载输出稳定的500瓦等离子发生器，等离子处理效果均匀可控，可应用于精密、高价值零部件加工。系统采用西门子PLC控制平台，运行稳定，参数设置简便，能够实现工艺流程可重复管控。标配两路质量流量控制器（氩气、氧气），支持扩展至三路，气体配置灵活，可满足多样化工艺需求。

技术参数

技术参数
等离子主机	外形尺寸(长×宽×高)	930×765×1750mm
等离子主机	腔体尺寸(长×宽×高，可定制)	400×400×410mm
等离子电源	等离子供电频率	13.56MHz / 40kHz（可选）
等离子电源	额定功率	500W
控制系统	控制方案（PLC）	西门子 – SIMATIC HMI Smart 700 IE V5
控制系统	显示屏	7英寸触摸屏
真空系统	腔体材质	铝合金
	腔体漏率	＞15Pa/s
	极限真空度	＜5Pa/s
	工艺层（可定制）	6层（金属丝网托盘）
	破真空时间	≤8s
	抽真空时间	≤50s
	真空泵抽速	60m³/h
	泵类型	油封泵 / 干泵（可选）
气路系统	工艺气体流量范围	0–300SCCM
气路系统	工艺气路配置	标配氩气/氧气两路，配备2台质量流量控制器；可选氮气/氢气/氦气三路，配备3台质量流量控制器
现场配套要求	设备供电	380V 50Hz，五线制
	设备气源（压缩空气）	≥0.4MPa
	设备总功率	4.5kW
	工作环境温度	0℃ – 50℃

应用领域

上一条：VL-5-A

下一条：VL-100-A