VL-100-A

1. 大批量处理产能	100升腔体搭配6个标准工件托盘，实现高效批量处理，有效提升中大批量生产效率。
2. 等离子强劲且分布均匀	1000W等离子发生器保障稳定放电，即便工件装载密集、外形结构复杂，也能获得均匀稳定的表面处理效果。
3. 气体工艺调控灵活	标配2台质量流量控制器（氩气、氧气），可扩展至3路，精准配比工艺气体，满足不同材质多样化的定制工艺需求。
4. 稳定工业自动化控制系统	搭载西门子PLC系统，参数控制精准，支持工艺配方存储与生产追溯，可便捷对接自动化生产线。

概述

VL-100-A 100升真空等离子处理系统适用于研发及工业化生产场景，实现高效表面清洗、活化与功能镀膜工艺。设备搭载1000瓦大功率等离子发生器，等离子分布稳定均匀，大批量工件处理效果一致性良好。西门子PLC控制系统实现精准参数管理、工艺配方存储，保障工艺高度可重复。标配两路质量流量控制器（氩气、氧气），可扩展至三路以灵活调配混合气体；配备6个标准工件托盘，支持定制改造，适配多种规格工件及生产需求。

技术参数

技术参数
等离子主机	外形尺寸(长×宽×高)	930×765×1750mm
等离子主机	腔体尺寸(长×宽×高，可定制)	515×400×510mm
等离子电源	等离子供电频率	13.56MHz / 40kHz（可选）
等离子电源	额定功率	1000W
控制系统	控制方案（PLC）	西门子 – SIMATIC HMI Smart 700 IE V5
控制系统	显示屏	7英寸触摸屏
真空系统	腔体材质	铝合金
	腔体漏率	＞15Pa/s
	极限真空度	＜5Pa/s
	工艺层（可定制）	6层（金属丝网托盘）
	破真空时间	≤10s
	抽真空时间	≤80s
	真空泵抽速	60m³/h
	泵类型	油封泵 / 干泵（可选）
气路系统	工艺气体流量范围	0–300SCCM
气路系统	工艺气路配置	标配氩气/氧气两路，配备2台质量流量控制器；可选氮气/氢气/氦气三路，配备3台质量流量控制器
现场配套要求	设备供电	380V 50Hz，五线制
	设备气源（压缩空气）	≥0.4MPa
	设备总功率	4.5kW
	工作环境温度	0℃ – 50℃

应用领域

上一条：VL-60-A

下一条：VL-800-A