VL-200-A

1. 加工处理效率高	1200W等离子功率可实现快速且均匀的表面活化与清洗，缩短加工周期，同时保障稳定一致的处理品质。
2. 工艺控制精准稳定	搭载可靠的西门子PLC控制系统，设备参数调控精准，工艺重复性优异，操作简便。
3. 气路配置灵活多样	标配氩气、氧气双路质量流量控制器，可拓展加装第三路控制器，灵活调配气体组合，适配各类材料加工需求。
4. 适配多种批量工件处理	配备8个标准工件托盘，可根据产品尺寸与外形定制，最大化利用腔体空间，提升生产灵活性。

概述

VL-200-A 200升真空等离子处理系统为高性能处理设备，适用于各行业零部件精准均匀的表面改性工艺。设备搭载1200瓦大功率等离子发生器与稳定可靠的西门子PLC控制系统，工艺控制稳定、重复性好，操作简便。系统标配两路氩气、氧气质量流量控制器（MFC），可扩展至三路定制化MFC，大幅提升工艺适配灵活性。腔体容积充足，内置八个标准工件托盘，托盘支持定制以适配特殊外形产品，实现高效批量处理。

技术参数

技术参数
等离子主机	外形尺寸(长×宽×高)	1500×1200×2000mm
等离子主机	腔体尺寸(长×宽×高，可定制)	600×600×600mm
等离子电源	等离子供电频率	13.56MHz
等离子电源	额定功率	1200W
控制系统	控制方案（PLC）	西门子 – SIMATIC HMI Smart 700 IE V5
控制系统	显示屏	7英寸触摸屏
真空系统	腔体材质	铝合金
	腔体漏率	＞15Pa/s
	极限真空度	＜5Pa/s
	工艺层（可定制）	8层（金属丝网托盘）
	破真空时间	≤10s
	抽真空时间	≤150s
	真空泵抽速	90m³/h
	泵类型	油封泵 / 干泵（可选）
气路系统	工艺气体流量范围	0–300SCCM
气路系统	工艺气路配置	标配氩气/氧气两路，配备2台质量流量控制器；可选氮气/氢气/氦气三路，配备3台质量流量控制器
现场配套要求	设备供电	380V 50/60Hz，五线制
	设备气源（压缩空气）	≥ 0.4MPa
	工艺气源压力	0.3 ~ 0.4MPa
	设备总功率	4.5kW
	工作环境温度	0℃ – 50℃

应用领域

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