VL-800-A

1. 大批量工业化处理	800升大型腔体搭配6组可定制工件托盘，可高效处理大型工件或大批量物料，大幅提升生产产能。
2. 等离子输出强劲稳定	配备6kW等离子功率，产生高强度、分布均匀的等离子体，即便满载工况下也能实现深度表面活化，保障处理品质稳定统一。
3. 真空与温控性能优异	1200m³/h真空泵实现快速抽真空与真空压力稳定；配套1375 kcal/h冷水机高效散热，支持设备长期连续稳定运行。
4. 智能灵活工艺控制系统	搭载西门子PLC系统，标配2台质量流量控制器（氩气、氧气），可选扩展至3路，气体流量调控精准，工艺配方可重复调用，能够无缝对接自动化产线。

概述

VL-800-A 800升真空等离子处理系统为大容量工业化设备，面向大批量工件表面清洗、活化及镀膜应用。设备搭载大功率6千瓦等离子发生器，等离子输出强劲、分布均匀，大批量、重载工件处理效果稳定一致。整机采用可靠的西门子PLC控制平台，可精准管控各项参数、存储工艺配方，便于对接自动化产线。标配两路质量流量控制器（氩气、氧气），可扩展至三路，满足复杂气体工艺需求；配备6个可定制工件托盘，适配多种规格零部件。系统搭载抽速1200立方米每小时真空泵以及制冷量1375千卡每小时冷水机，保障连续运行状态下真空性能稳定与高效温控。

技术参数

技术参数
等离子主机/真空泵/冷水机	外形尺寸(长×宽×高)	1780×1740×1900mm
	腔体尺寸(长×宽×高，可定制)	890×900×1020mm
	真空泵尺寸(长×宽×高)	1174×554×910mm
	冷水机尺寸(长×宽×高)	1150×600×1250mm
等离子电源	等离子供电频率	13.56MHz / 40kHz（可选）
等离子电源	额定功率	6KW
控制系统	控制方案（PLC）	西门子 – SIMATIC HMI Smart 1000 IE V5
控制系统	显示屏	10英寸触摸屏
真空系统	腔体材质	铝合金
	腔体漏率	＞10Pa/s
	极限真空度	＜1Pa/s
	工艺层（可定制）	6层（电极托盘）
	破真空时间	≤ 40s
	抽真空时间	≤ 70s
	真空泵抽速	1200m³/h
	泵类型	油封泵 / 干泵（可选）
冷水机系统	制冷量	1375kcal/h
	供水温度	20℃ – 25℃
	循环流量	3.2m³/h
气路系统	工艺气体流量范围	0–3000SCCM
气路系统	工艺气路配置	标配氩气/氧气两路，配备2台质量流量控制器；可选氮气/氢气/氦气三路，配备3台质量流量控制器
现场配套要求	设备供电	380V 50Hz，五线制
	设备气源（压缩空气）	≥ 0.4MPa
	设备总功率	20kW
	工作环境温度	0℃ – 50℃

应用领域

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