VL-5-A

1. 机身小巧，功率强劲	1000W等离子发生器输出强劲稳定的等离子体，台式结构占地小，高效完成材料表面活化与清洗作业。
2. 等离子分布均匀	圆筒型腔体结构优化等离子密度分布，保证整个加工区域处理效果均匀一致。
3. 控制系统稳定，操作直观	搭载西门子内核MCGS显示屏，支持参数精准调节、工艺配方存储，操作简易，保障工艺可重复执行。
4. 工艺适配灵活	标配2台质量流量控制器（氩气、氧气），工件托盘支持定制；可精准调控气体，搭配多样化工装夹具，适配各类零部件加工。

概述

VL-5-A台式5升真空等离子处理系统采用圆筒腔室结构设计，优化等离子分布效果，适合高效小批量样品处理。设备搭载1000瓦大功率等离子发生器，机身小巧，却可实现高效稳定的表面活化、清洗与镀膜处理。系统搭载基于西门子技术的MCGS触摸屏，操作直观，能够精准管控参数、稳定执行工艺流程。标配两路质量流量控制器（氩气、氧气），精准调节气体流量，同时配备1个可定制工件托盘，适配多种规格工件与不同应用场景。

技术参数

技术参数
等离子主机	外形尺寸(长×宽×高)	600×540×480mm
	圆筒腔体(长度×直径，可定制)	280×150mm
	不含真空泵重量	60 kg
等离子电源	等离子供电频率	40kHz
等离子电源	额定功率	1000W
控制系统	控制方案（PLC）	MCGS – TPC4013EI
	显示屏	4.3英寸触摸屏
	腔体压力显示	LED指示灯
真空系统	腔体材质	不锈钢
	腔体漏率	＞15Pa/s
	极限真空度	＜5Pa/s
	工艺层（可定制）	1层（金属丝网托盘）
	破真空时间	≤ 15s
	抽真空时间	≤ 60s
	真空泵抽速	8m³/h
	泵类型	油封泵 / 干泵（可选）
气路系统	工艺气体流量范围	0–200SCCM
气路系统	工艺气路配置	2通道流量计
现场配套要求	设备供电	AC220（±10%）
	设备气源（压缩空气）	≥ 0.4MPa
	设备总功率	2.6kW
	工作环境温度	0℃ – 50℃

应用领域

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