VL-10-A

1. 结构紧凑，节省占地空间	台式机型布局，适合空间有限的实验室与研发场景，同时具备专业等级等离子处理性能。
2. 工艺精准，处理可控	300W等离子功率实现稳定柔和的等离子放电，适用于小型、易损或高价值零部件加工。
3. 精准气流调控	标配2台质量流量控制器（氩气、氧气），实现精准气体配比，保障工艺重复性，获得稳定可靠的表面改性效果。
4. 试样装载灵活	配备3套标准工件托盘，可依据零件外形定制；便于有序摆放试样，提升各类工况下的处理均匀性。

概述

VL-10-A台式10升真空等离子处理系统结构紧凑、占地空间小，适用于实验室研究、样品试制以及小批量生产。设备搭载功率稳定的300瓦等离子发生器，可对精密小型工件实现精准且均匀的表面清洗与活化处理。西门子PLC控制系统运行稳定，便于参数调节，可实现工艺流程可重复管控。标准配置包含两路质量流量控制器（氩气、氧气），实现气体精准调控，并配备3个可定制工件托盘，适配不同尺寸试样与各类应用需求。

技术参数

技术参数
等离子主机	外形尺寸(长×宽×高)	700×720×880mm
等离子主机	腔体尺寸(长×宽×高，可定制)	270×280×180mm
	不含真空泵重量	170kg
等离子电源	等离子供电频率	13.56MHz / 40kHz（可选）
等离子电源	额定功率	300W
控制系统	控制方案（PLC）	西门子 SIMATIC HMI Smart 700 IE V5
控制系统	显示屏	7英寸触摸屏
真空系统	腔体材质	不锈钢
	腔体漏率	＞15Pa/s
	极限真空度	＜5Pa
	工艺层（可定制）	3层（金属丝网托盘）
	破真空时间	≤15s
	抽真空时间	20s~40s
	真空泵抽速	24m³/h
	泵类型	油封泵 / 干泵（可选）
气路系统	工艺气体流量范围	0-300SCCM
气路系统	工艺气路配置	标配氩气/氧气两路，配备2台质量流量控制器
现场配套要求	设备供电	AC220（±10%）
	设备气源（压缩空气）	≥0.4MPa
	设备总功率	1.8kW
	工作环境温度	0℃ – 50℃

应用领域

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