真空等离子处理系统

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VL-80-A 真空等离子清洗机

科菱科技隆重推出面向印刷电路板中等尺寸面板及其他相关应用的等离子处理系统。

真空等离子技术特别适用于需要全方位表面处理的产品和部件。即使是具有复杂三维结构的工件,其难以触及的区域也能获得均匀一致的处理效果,这得益于处理腔室内建立的真空环境。

真空等离子处理在密封腔室内进行,工作环境精准可控,通常维持在0.1-1.0毫巴的中等真空度。通过高频电场激发工艺气体,使腔室内形成均匀的等离子体,确保所有表面都能获得完美处理。

采用真空等离子技术可显著提升有机/无机污染物清除效果、表面活化性能、微观蚀刻精度、材料润湿特性等关键工艺指标。

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