VL-80-A

1. 工艺处理效率高	1000W等离子功率，产生强劲且稳定的等离子体，快速完成表面活化、清洗与镀膜处理，缩短加工周期，同时保障处理效果稳定一致。
2. 精准气体调控	标配2台质量流量控制器（氩气、氧气），可定制扩展至3路，实现精确气体配比，针对不同物料需求完成工艺优化。
3. 可靠智能控制系统	搭载西门子PLC系统，设备运行稳定，参数控制精准，支持工艺配方存储，可便捷对接自动化生产线。
4. 腔体小巧，适用场景广泛	80升真空腔体兼顾装载容量与占地面积，适配科研研发、小批量试产以及中等规模工业化应用。

概述

VL-80-A 80升真空等离子处理系统结构紧凑、效能优异，适用于高精度表面活化、清洗及功能镀膜工艺。设备搭载大功率1000瓦等离子发生器，等离子放电稳定，可对各类材料实现均匀处理。系统采用性能可靠的西门子PLC控制，操作直观、工艺稳定，参数管理便捷。标准配置配备两路质量流量控制器（氩气、氧气），支持定制扩展至三路质量流量控制器，提升工艺适配能力，满足复杂混合气体工艺使用需求。

技术参数

技术参数
等离子主机	外形尺寸(长×宽×高)	930×765×1750mm
等离子主机	腔体尺寸(长×宽×高，可定制)	515×400×410mm
等离子电源	等离子供电频率	13.56MHz / 40kHz（可选）
等离子电源	额定功率	1000W
控制系统	控制方案（PLC）	西门子 – SIMATIC HMI Smart 700 IE V5
控制系统	显示屏	7英寸触摸屏
真空系统	腔体材质	铝合金
	腔体漏率	＞15Pa/s
	极限真空度	＜5Pa/s
	工艺层（可定制）	6层（金属丝网托盘）
	破真空时间	≤10s
	抽真空时间	≤60s
	真空泵抽速	60m³/h
	泵类型	油封泵 / 干泵（可选）
气路系统	工艺气体流量范围	0–300SCCM
气路系统	工艺气路配置	标配氩气/氧气两路，配备2台质量流量控制器；可选氮气/氢气/氦气三路，配备3台质量流量控制器
现场配套要求	设备供电	380V 50Hz，五线制
	设备气源（压缩空气）	≥0.4MPa
	设备总功率	4.5kW
	工作环境温度	0℃ – 50℃

应用领域

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