VLOL-12-A

1. 连续式高产能处理	流水线式结构搭配自动上下料机构，物料输送顺畅，减少人工干预，优化整体生产效率。
2. 适配多种规格产品	尺寸支持定制（宽度50–100mm，长度150–280mm），可适配不同规格工件，满足不断变化的生产需求。
3. 等离子精准可调控制	等离子功率最高可调至1000W；标配2路质量流量控制器（氩气、氧气），可扩展至3路，实现工艺精准调试，保障表面处理效果稳定统一。
4. 稳定工业自动化方案	搭载西门子PLC控制系统，运行稳定，支持配方管理、工艺参数重复调用，可便捷对接现有自动化产线。

概述

VLOL-12-A在线式真空等离子处理系统专为自动化产线内连续高效表面处理而设计。设备支持工件尺寸定制，宽度适配50–100毫米、长度150–280毫米，可加工多种类型零部件。等离子功率可调，最高可达1000瓦，能够依据物料特性与产能需求，精准优化清洗、活化及镀膜工艺。自动化上下料保障物料顺畅流转，减少人工干预，实现稳定一致的加工节拍。整机采用西门子PLC控制，标配两路质量流量控制器（氩气、氧气），可扩展至三路，实现精准气体调控，稳定可靠地完成流水线连续作业。

技术参数

技术参数
等离子主机	外形尺寸(长×宽×高)	1350×1600×2300mm
	腔体尺寸(长×宽×高，可定制)	370×330×110mm
	适用产品尺寸(长×宽)	150–280×50–100mm
等离子电源	等离子供电频率	13.56MHz
等离子电源	功率调节范围	0–300W / 0–1000W
控制系统	控制方案（PLC）	MCGS – TPC1061TI + 人机界面（可选：西门子S7-200 Smart ST30）
控制系统	显示屏	10英寸触摸屏
真空系统	腔体材质	铝合金
	腔体漏率	＞15Pa/s
	极限真空度	＜5Pa/s
	工艺层（可定制）	1层
	破真空时间	≤15s
	抽真空时间	≤20s
	真空泵抽速	64m³/h
	泵类型	油封泵 / 干泵（可选）
气路系统	工艺气体流量范围	0–300SCCM
气路系统	工艺气路配置	标配氩气/氧气两路，配备2台质量流量控制器；可选氮气/氦气三路，配备3台质量流量控制器
现场配套要求	设备供电	380V 50Hz，五线制
	设备气源（压缩空气）	≥0.4MPa
	设备总功率	4kW
	工作环境温度	0℃ – 50℃

应用领域

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